InPower Dry vane Vacuum pomp gebruikt in de halfgeleiderindustrie om een schone en droge vacuümomgeving te creëren. Vind een breed scala aan toepassingen in de halfgeleiderindustrie vanwege hun reinheid, betrouwbaarheid en efficiëntie. Deze pompen zijn essentieel voor processen zoals chemische dampdepositie, fysieke dampdepositie, ionenimplantatie en etsen.
Functies:
Droge schoepenvacuümpompen zijn een type vacuümpomp dat de voordelen van droge schroeftechnologie combineert met waterkoeling om de prestaties en efficiëntie te verbeteren. Ze bieden een betrouwbare, efficiënte en onderhoudsarme oplossing voor veeleisende vacuümtoepassingen waarbij zowel droge werking als effectieve warmteafvoer vereist zijn.
Model:LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500
Ultiem vacuüm: Minder dan of gelijk aan 1Pa
SNELHEID 50 Hz:30-500 L/s
SNELHEID 60 Hz:36 - 600 L/s
|
Model |
LGB30 |
LGB50 |
LGB70 |
LGB110 |
LGB150 |
LGB180 |
LGB200 |
LGB220 |
LGB270 |
LGB300 |
LGB360 |
LGB400 |
LGB500 |
||
|
SNELHEID (50Hz) |
L/s |
30 |
50 |
83 |
110 |
150 |
180 |
200 |
230 |
270 |
300 |
360 |
360 |
500 |
|
|
m3/h |
110 |
180 |
300 |
400 |
540 |
650 |
720 |
830 |
970 |
1080 |
1300 |
1500 |
1800 |
||
|
Ultiem vacuüm (50Hz) |
vader |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
|
Maximale uitlaatdruk |
bar |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.5 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
|
|
VERMOGEN (50Hz) |
kw |
4 |
4 |
5.5/7.5 |
11 |
15 |
15 |
18.5 |
18.5 |
22 |
30 |
37 |
37 |
37 |
|
|
Motorsnelheid (50Hz) |
toerental |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
|
|
Aansluiten |
IN |
Mm |
50 |
50 |
65 |
65 |
100 |
100 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
|
UIT |
mm |
40 |
40 |
65 |
65 |
80 |
80 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
|
|
Water |
Stroom |
L/min |
6 |
6 |
10 |
15 |
20 |
20 |
25 |
25 |
28 |
28 |
28 |
28 |
28 |
|
Druk |
Mpa |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
|
|
Aansluiten |
G3/8" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
||
|
Koelmethode |
Lucht water |
Lucht water |
Water |
Water |
Water |
Water |
Water |
Water |
Water |
Water |
Water |
Water |
Water |
Water |
|
|
Lawaai |
Db |
75 |
75 |
75 |
76 |
76 |
78 |
78 |
78 |
80 |
80 |
85 |
85 |
85 |
|
|
Gewicht |
Kg |
310 |
310 |
475 |
570 |
840 |
840 |
1200 |
1220 |
1250 |
1300 |
1350 |
1380 |
1400 |
|
|
Speciale vereisten |
Afhankelijk van de vereisten kan het worden geconfigureerd met variabele frequentie, anti-corrosie, explosieveilig, enz. |
||||||||||||||
inPower Droge schoepen vacuümpomp Toepassingsgebied:
Halfgeleiderproductie:
Bij halfgeleiderfabricageprocessen zoals CVD, PVD, ionenimplantatie en etsen helpen watergekoelde droge schroefvacuümpompen de vereiste vacuümniveaus te handhaven en zorgen ze tegelijkertijd voor een efficiënte warmteafvoer om consistente prestaties te garanderen.
Dunne film depositie:
Watergekoelde droge schroefpompen worden gebruikt bij dunnefilmdepositietechnieken zoals sputteren en verdampen, waarbij nauwkeurige vacuümregeling en warmtebeheer essentieel zijn voor het deponeren van uniforme dunne films op substraten.
Warmtebehandelingsprocessen:
Industrieën die zich bezighouden met warmtebehandelingsprocessen, zoals de metaalindustrie en de lucht- en ruimtevaart, vertrouwen op watergekoelde droge schroefvacuümpompen om vacuümomgevingen te creëren voor gloeien, solderen en andere behandelingen met hoge temperaturen, terwijl het systeem koel blijft.
Chemische en farmaceutische verwerking:
Watergekoelde droge schroefpompen spelen een cruciale rol in chemische verwerkingstoepassingen waarbij het handhaven van een schoon, droog vacuüm noodzakelijk is voor reacties, destillatie en oplosmiddelterugwinningsprocessen.
Onderzoek en ontwikkeling:
Laboratoria en onderzoeksfaciliteiten in verschillende sectoren gebruiken watergekoelde droge schroefvacuümpompen voor testen en experimenten. Ze creëren betrouwbare vacuümomstandigheden voor het bestuderen van materialen, processen en apparatuur.
Populaire tags: droge schoepen vacuümpomp, China droge schoepen vacuümpomp fabrikanten, leveranciers, fabriek







