Ultrahoogvacuüm mechanische boosterpomp
Mechanische boosterpompen met ultrahoog vacuüm (UHV) (Roots Booster Pumps) verhogen de gasdoorvoer in lage-drukvacuümsystemen waar een hoge pompcapaciteit en snelle pomp-uitvaltijden vereist zijn.
De booster werkt samen met een compatibele hulppomp (zoals een droge vacuümpomp of een draaischuifpomp) en gebruikt positieve- mechanische verplaatsing om gas van de kamerzijde naar de steuntrap over te brengen. Dit verhoogt de effectieve pompsnelheid aanzienlijk in het gemiddelde tot ultra-hoge vacuümdrukbereik.
Technische specificaties
|
Parameter |
Specificatie / Selectievereiste |
Technische overwegingen |
|
Producttype |
UHV mechanische boosterpomp (Roots-principe) |
Positieve-verplaatsing hoge-doorvoerbooster |
|
Flensnormen |
ISO-K / ISO-F, CF-flenzen of aangepast |
Geselecteerd op basis van geleiding en UHV-afdichtingsintegriteit |
|
Pompsnelheidsbereik |
Model-afhankelijk (zie prestatiecurven) |
Moet samen met de geleiding van de systeemlijn worden berekend |
|
Bedrijfsdruk |
Middelvacuüm tot ultrahoog vacuüm (UHV) |
Gecontroleerd door totale ontgassing van de pomptrein en de kamer |
|
Bijpassende pomp |
Droge pomp, roterende schoep of roterende zuiger |
De reservecapaciteit moet overeenkomen met de afvoerstroom van de booster |
|
Maximale differentiële druk |
Model-specifieke toegestane druklimiet (Delta P max) |
Voorkomt thermische overbelasting en mechanische belasting |
|
Vacuüm-Zijmaterialen |
Roestvrij staal, behandelde legeringen, speciale coatings |
Lage uitgassnelheid en chemische bestendigheid |
|
Afdichtingsconfiguratie |
Elastomeer (FKM/FFKM) of metalen afdichtingen (CF) |
Geselecteerd op basis van heliumleksnelheid en uitwarmlimieten |
|
Heliumlekpercentage |
Tot 1 x 10^-10 mbar L/s |
Geverifieerd via lekdetector van massaspectrometer |
Selectie- en integratiegids
Om de juiste Roots-boosterpomp te selecteren en een soepele integratie in uw vacuümsysteem te garanderen, evalueert u de volgende werkingspunten:
Pompsnelheid en doeldruk:Bereken de vereiste effectieve pompsnelheid bij de kamerinlaat, rekening houdend met de geleiding van de leidingen.
Gasbelasting en procesmedia:Identificeer de samenstelling van procesgas, corrosieve eigenschappen, stofdeeltjes en materiaaluitgassingsnelheden.
Compatibiliteit met steunpomp:Zorg ervoor dat de voorpomp het afvoervolume verwerkt zonder het maximaal toegestane drukverschil (Delta P max) te overschrijden.
Thermische en systeemvergrendelingen:Configureer drukschakelaars, frequentieregelaars (VFD) en koelvergrendelingen om mechanische overbelasting tijdens voorbewerkingsfasen te voorkomen.
Typische toepassingen
Halfgeleider en elektronica:Evacuatie en verwerking van procesgas voor ets-, CVD- en lithografie-ondersteuningsinstrumenten die een lage verontreiniging vereisen.
Dunne-filmafzetting en coating:Handhaaft een stabiele bedrijfsdruk tijdens PVD-, sputter- en optische coatingprocessen met hoge- doorvoer.
Onderzoekslaboratoria:Hoge-betrouwbare vacuümprestaties voor deeltjesfysica, oppervlaktewetenschap en ruimtesimulatiekamers.
Vacuümovens en verwerking:Verwerkt op efficiënte wijze zware gasladingen tijdens ontgassen bij hoge- temperaturen, vacuümsolderen en warmtebehandeling.
Kwaliteitscontrole en documentatie
UHV-betrouwbaarheid vereist strikte productie- en verificatienormen:
Cleanroom-verwerking:Meer-traps ultrasoon reinigen, ontvetten met oplosmiddelen en stof-vrije verpakking om lage ontgassing te garanderen.
Precisietesten:Dynamische rotorbalancering, dimensionale verificatie en heliumlektesten met massaspectrometer.
Documentresultaten:Modelleer-specifieke pompsnelheidscurven, CAD/STEP-overzichtstekeningen, elektrische specificaties van de motor, materiaalcertificeringen en lektestrapporten.
Veelgestelde vragen
Vraag: Wat is de primaire functie van een mechanische boosterpomp met ultrahoog vacuüm?
A: Een mechanische boosterpomp met ultrahoog vacuüm verhoogt de effectieve pompsnelheid en gasdoorvoer in lage-drukvacuümsystemen. Het transporteert gas van de vacuümkamer naar een hulppomp, waardoor een snelle evacuatie en hogere einddrukprestaties mogelijk zijn.
Vraag: Kan een mechanische Roots-boosterpomp zelfstandig werken zonder een voorpomp?
A: Nee. Een mechanische boosterpomp heeft een geschikte voorpomp nodig (zoals een droge pomp of een roterende schottenpomp) om het gas af te voeren tot atmosferische druk.
Vraag: Waarom moet ik vermijden een boosterpomp te selecteren die alleen gebaseerd is op de nominale pompsnelheid?
A: De nominale pompsnelheid vertegenwoordigt de ideale verplaatsing zonder rekening te houden met echte systeemverliezen-. De werkelijke prestaties zijn afhankelijk van de geleiding van de vacuüm-lijn, de capaciteit van de hulppomp, de werkdruk en de gasbelasting in de kamer.
Vraag: Hoe voorkom ik thermische overbelasting tijdens de werking van de boosterpomp?
A: Thermische overbelasting wordt voorkomen door de bedrijfsdruk binnen de toegestane verschillimiet (Delta P max) te houden. Het gebruik van een overdrukventiel, een aandrijving met variabele frequentie (VFD) of een drukschakelaar om het starten van de booster te regelen- beschermt de pomp tegen overmatige gasbelasting.
Vraag: Welke voorzorgsmaatregelen voor UHV-reinheid worden genomen tijdens de productie?
A: Voor UHV-service ondergaan de onderdelen aan de vacuüm-zijde gespecialiseerde reinigingsprocessen, zoals ultrasoon ontvetten, om koolwaterstofresten te verwijderen.
Populaire tags: ultrahoog vacuüm mechanische boosterpomp, China ultrahoog vacuüm mechanische boosterpomp fabrikanten, leveranciers, fabriek
